반도체는 오늘날 모든 산업의 심장입니다. 그 심장을 만드는 공장(팹)은 사람이 아니라 제어(control)가 실제로 돌립니다.

800~1,200 ℃의 로 온도를 ±0.5 ℃로, 진공 챔버의 압력을 대기압의 백만분의 일 수준으로, 가스 유량을 ±1 %로 — 사람의 손으로는 불가능한 정밀도를 매 순간 지켜 내는 일이 바로 공정제어입니다.

그런데 이 분야를 처음 공부하려는 사람은 늘 두 벽에 부딪힙니다. 제어를 배우려니 반도체 공정을 모르고, 반도체를 배우려니 제어가 어렵습니다. 시중의 제어공학 교재는 수식과 이론이 앞서 초급자가 다가서기 어렵고, 반도체 공정 교재는 공정 원리를

설명할 뿐 “그래서 무엇을 어떻게 제어하는가”에는 답하지 않습니다. 이 책은 그 사이의 빈 다리를 놓기 위해 썼습니다.

[목 차]

제1부 · 제어의 기초

1장 제어란 무엇인가

2장 공정의 언어 — 이득·시상수·지연

3장 온오프에서 PID까지 — 제어기는 왜 진화했는가

4장 튜닝 완전정복 — Kc, τI, τD 세 개의 다이얼 돌리기

5장 도면 읽기 — PFD·P&ID·ISA-5.1




제2부 · 반도체 입문

6장 반도체와 팹 — 모래에서 칩까지




제3부 · 5대 공정 실전

7장 열산화로 — 다구간 온도 캐스케이드 제어

8장 플라즈마 식각 — 챔버 압력 제어

9장 CVD 증착 — MFC 가스 유량 제어

10장 RTP 급속열처리 — 초고속 온도 제어와 피드포워드

11장 CMP 평탄화 — 압력 제어와 Run-to-Run 제어




제4부 · 통합과 진로

12장 8대 공정 제어 지도 — 모래에서 칩까지 (심화학습)

13장 종합 설계 프로젝트 — 나만의 미니 팹




부록

찾아보기

부록 A — 총정리 · 튜닝표 · 학습 로드맵

부록 B — 실습문제 정답과 풀이

부록 C — 단위·기호 빠른 참조