[머리말]

4차 산업혁명은 디지털화, 자동화, 인공지능, 사물인터넷(IoT) 등의 기술이 융합되어 혁신적인 변화를 이끌어내는 시대를 말한다. 이러한 변화 속에서 반도체 산업은 중심적인 역할을 수행하며, 4차 산업혁명의 핵심 요소로 각광받고 있다. 즉, 반도체 산업은 기술 혁신의 중심에 서 있는 셈이다. 새로운 반도체 기술은 다양한 산업 분야에서 혁신을 이끌어내고, 새로운 제품과 서비스의 개발을 촉진하고 있다.
특히, 반도체 산업은 국가의 경쟁력에 큰 영향을 미치는 핵심적인 산업으로 인식되고 있으며, 선도적인 반도체 기술과 산업 생태계를 보유한 국가는 글로벌 경제에서 더 큰 영향력을 발휘하고 있다. 종합적으로 반도체 산업과 기술 경쟁은 미래의 기술적 발전과 경제적 성장을 주도하며, 국가 간의 경쟁에서 중요한 역할을 수행하는 주요한 분야 중 하나라고 볼 수 있다.
본 교재는 반도체 제조 과정의 기초와 전반적인 흐름에 대한 이해를 제공하며, 실리콘 웨이퍼, 산화, 포토, 식각, 중착, 이온주입, 금속배선, 패키지 및 검사 등의 주요 공정과 각 공정에서 다루는 장비의 기본 구조를 다룬다.
학생들은 각 제조공정의 단계에서 사용되는 장비의 역할과 특징을 이해하며, 실제로 어떻게 작동하는지 파악할 수 있도록 필수적인 장비 기술을 소개하였다. 더불어 반도체 제조 장비 분야에 입문하거나 실무 경험이 부족한 분들을 위해 체계적인 학습 자료를 제공하고자 교재를 구성하였다. 나아가 반도체 제조 장비에 대한 기초 지식을 습득하여 여러분의 전문 분야에서의 경쟁력을 높일 수 있도록 교재를 집필하게 되었다. 반도체 제조의 핵심 단계를 이해하고, 각 공정별 장비의 기본 개념과 원리에 집중할 수 있도록 구성하였다.
이를 통해 독자들은 기본적인 제조 장비에 대한 이해를 바탕으로 실무에 적용 가능한 실력을 기를 수 있을 것으로 기대하며, 입문자들뿐만 아니라, 이미 반도체 산업에서 경력을 쌓고 있는 분들에게도 유용할 것으로 기대한다.
본 교재를 접하는 독자나 전문가들에게 반도체 제조장비의 기본 개념을 세밀하게 전달하고자 시작한 교재의 집필이지만, 미비한 부분이 많을 것이라 고려되며, 다소간의 도움이 되었으면 하는 마음뿐이다. 교재가 출판되기까지 제조공정과 장비기술에 자문을 주신 성대 김원식 교수님께 감사드리며, 그 동안 많은 도움을 아끼지 않은 내하출판사의 모흥숙 사장님과 처음부터 마지막까지 한결같은 마음으로 편집을 도와준 박은성 님께 감사드리며….

[목 차]

CHAPTER 01 반도체 제조공정의 이해
CHAPTER 02 웨이퍼 제조공정 및 장비
CHAPTER 03 산화 공정 및 장비
CHAPTER 04 포토 공정 및 장비
CHAPTER 05 식각 공정 및 장비
CHAPTER 06 증착 공정 및 장비
CHAPTER 07 이온주입 공정 및 장비
CHAPTER 08 열처리 공정 및 장비
CHAPTER 09 금속 공정 및 장비
CHAPTER 10 패키징 공정 및 장비
CHAPTER 11 기타 공정 및 장비
APPENDIX 부 록